Везде

RAS Chemistry & Material ScienceФизикохимия поверхности и защита материалов Protection of Metals and Physical Chemistry of Surfaces

  • ISSN (Print) 0044-1856
  • ISSN (Online) 3034-6479

СТРУКТУРА И СВОЙСТВА ПОКРЫТИЙ Zr–Ti–B–C–N, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ИМПУЛЬСНОГО МАГНЕТРОННОГО НАПЫЛЕНИЯ

You can
PII
S30346479S0044185625040107-1
DOI
10.7868/S3034647925040107
Publication type
Article
Status
Published
Authors
F.V. Kiruhancev-Korneev
  • Affiliation: Университет науки и технологий МИСИС
A.D. Certova
  • Affiliation: Университет науки и технологий МИСИС
V.M. Kasimova
  • Affiliation: Университет науки и технологий МИСИС
E.V. Zabelina
  • Affiliation: Университет науки и технологий МИСИС
E.A. Levasov
  • Affiliation: Университет науки и технологий МИСИС
Volume/ Edition
Volume 61 / Issue number 4
Pages
423-431
Abstract
Покрытия Zr–Ti–B–C–N были получены методом реакционного импульсного магнетронного напыления при частотах 0, 50 и 350 кГц. Покрытия содержали высокую суммарную концентрацию неметаллических элементов в диапазоне 80–84 ат.% и обладали плотной малодефектной аморфной структурой. В покрытиях преобладали связи B–N, B–C и Zr–O. Твердость покрытий составила 8–9 ГПа, модуль упругости и упругое восстановление находилось в пределах 126–144 ГПа и 36–40% соответственно. Наименьший коэффициент трения ~0,15 имело покрытие, осажденное при частоте 350 Гц. Максимальный оптический коэффициент пропускания ~90% показало покрытие, полученное при 50 кГц, характеризующееся минимальной толщиной и повышенной концентрацией кислорода. Покрытия Zr–Ti–B–C–N оптимального состава превосходили по коэффициенту пропускания образцы сравнения Zr–B–N.
Keywords
Date of publication
17.12.2025
Year of publication
2025
Number of purchasers
0
Views
30

References

  1. 1. Kiryukhantsev-Korneev Ph.V., Sytchenko A.D., Kozlova N.S. et al. // Surface and Coatings Technology. 2022. V. 448. № 128849. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2022.128849
  2. 2. Kiryukhantsev-Korneev Ph.V., Sytchenko A.D., Kozlova N.S. et al. // Surface and Coatings Technology. 2023. V. 474. № 130042. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2023.130042
  3. 3. Sytchenko A.D., Kozlova N.S., Zabelina E.V. et al. // Surfaces and Interfaces. 2023. V. 37. № 102654. https://doi.org/10.1016/j.surfin.2023.102654
  4. 4. Chertova A.D., Levanov A.V., Meshkov B.B. et al. // Powder Metallurgy аnd Functional Coatings. 2024. V. 18. № 5. P. 37–43. https://doi.org/10.17073/1997-308X-2024-5-37–43
  5. 5. Houska J., Kohout J., Mares P. et al. // Thin Solid Films. 2015. V. 586. P. 22–27. https://doi.org/10.1016/j.tsf.2015.04.023
  6. 6. Mareš P., Vlček J., Houška J. et al. // Thin Solid Films. 2019. V. 688. № 137334. https://doi.org/10.1016/j.tsf.2019.05.053
  7. 7. Houška J., Kohout J., Vlček J. // Thin Solid Films. 2013. V. 542. P. 225–231. https://doi.org/10.1016/j.tsf.2013.07.010
  8. 8. Luo Q.H., Lu Y.H. // Applied Surface Science. 2011. V. 258. № 3. P. 1021–1026. https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2011.08.053
  9. 9. Holzschuh H. // International Journal of Refractory Metals and Hard Materials. 2002. V. 20. № 2. P. 143–149. https://doi.org/10.1016/S0263-4368 (02)00013-6
  10. 10. Zhang M., Jiang J., Houška J. et al. // Acta Materialia. 2014. V. 77. P. 212–222. https://doi.org/10.1016/j.actamat.2014.05.064
  11. 11. Lin J., Mishra B., Moore J.J. et al. // Surface and Coatings Technology. 2008. V. 203. № 5–7. P. 588–593. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2008.06.083
  12. 12. Übleis A., Mitterer C., Ebner R. // Surface and Coatings Technology. 1993. V. 60. № 1–3. P. 571–576. https://doi.org/10.1016/0257-8972 (93)90155-H
  13. 13. Movassagh-Alanagh F., Abdollah-Zadeh A., Zolbin M.A. et al. // Tribology International. 2023. V. 179. P. 108137. https://doi.org/10.1016/j.triboint.2022.108137
  14. 14. Holzschuh H. // Thin Solid Films. 2004. V. 469–470. P. 92–98. https://doi.org/10.1016/j.tsf.2004.08.077
  15. 15. Qiu L., Chen H., Zeng F. et al. // Surface and Coatings Technology. 2024. V. 480. № 130599. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2024.130599
  16. 16. Rebholz C., Leyland A., Larour P. et al. // Surface and Coatings Technology. 1999. V. 116–119. P. 648–653. https://doi.org/10.1016/S0257-8972 (99)00260-1
  17. 17. Wolfe D.E., Singh J., Narasimhan K. // Surface and Coatings Technology. 2003. V. 165. № 1. P. 8–25. https://doi.org/10.1016/S0257-8972 (02)00666-7
  18. 18. Gu Jian-D., Chen Pei-L. // Surface and Coatings Technology. 2006. V. 200. № 10. P. 3341–3346. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2005.07.049
  19. 19. Braic M., Braic V., Balaceanu M. et al. // Materials Chemistry and Physics. 2011. V. 126. № 3. P. 818–825. https://doi.org/10.1016/j.matchemphys.2010.12.036
  20. 20. Neidhardt J., Czigány Z., Sartory B. et al. // International Journal of Refractory Metals and Hard Materials. 2010. V. 28. № 1. P. 23–31. https://doi.org/10.1016/j.ijrmhm.2009.07.016
  21. 21. Kelly P.J. // Vacuum. 2000. V. 56. № 3. P. 159–172. https://doi.org/10.1016/S0042-207X (99)00189-X
  22. 22. Tan X.-Q., Liu J.-Y., Niu J.-R. et al. // Materials. 2018. V. 11. № 1953. https://doi.org/10.3390/ma11101953
  23. 23. Kiryukhantsev-Korneev Ph.V., Sheveyko A.N., Shvindina N.V. et al. // Ceramics International. 2018. V. 44. № 7. P. 7637–7646. https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2018.01.187
  24. 24. Shtansky D.V., Kiryukhantsev-Korneev Ph.V., Sheveyko A.N. et al. // Surface and Coatings Technology. 2007. V. 202. № 4–7. P. 861–865. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2007.05.064
  25. 25. Kiryukhantsev-Korneev Ph.V., Chertova A.D., Chudarin F.I. et al. // Surface and Coatings Technology. 2024. V. 484. № 130797. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2024.130797
  26. 26. Iordanova I., Kelly P.J., Burova M. et al. // Thin Solid Films. 2012. V. 520. P. 5333–5339. https://doi.org/10.1016/j.tsf.2012.03.097
  27. 27. Audronis M., Kelly P.J., Leyland A. et al. // Thin Solid Films. 2006. V. 515. P. 1511–1516. https://doi.org/10.1016/j.tsf.2006.04.026
  28. 28. Richter N.A., Yang B., Barnard J.P. et al. // Applied Surface Science. 2023. V. 635. 157709. https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2023.157709
  29. 29. Potanin A.Yu., Zaitsev A.A., Pogozhev Yu.S. et al. // Ceramics International. 2024. V. 50(22,B). P. 47433–47444. https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2024.09.094
  30. 30. Kiryukhantsev-Korneev Ph.V., Sytchenko A.D., Sviridova T.A. et al. // Surface and Coatings Technology. 2022. V. 442. P. 128141. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2022.128141
  31. 31. Kiryukhantsev-Korneev F.V. // Russian Journal of Non-Ferrous Metals. 2014. V. 55. P. 494–504. https://doi.org/10.3103/S1067821214050137
  32. 32. Chertova A.D., Sidorenko D.A., Levashov E.A. et al. // Vacuum. 2024. V. 227. № 113456. https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2024.113456
  33. 33. García J., Moreno M., Wan W. et al. // Crystals. 2021. V. 11. № 158. https://doi.org/10.3390/cryst11020158
  34. 34. Ul-Hamid A. // J. Adv. Res. 2021. V. 29. P. 107–119. https://doi.org/10.1016/j.jare.2020.11.010
  35. 35. Tanno Y., Azushima A. // Surface and Coatings Technology. 2009. V. 203. № 23. P. 3631–3637. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2009.05.043
  36. 36. Kim Y.-S., Park H.-J., Kim Y.-S. et al. // Coatings. 2024. V. 14. № 144. https://doi.org/10.3390/coatings14010144
  37. 37. Rogov A.V., Martynenko Y.V., Kapustin Y.V. et al. // Technical Physics. 2018. V. 63. P. 700–710. https://doi.org/10.1134/S1063784218050195
  38. 38. Lu Y.H., Liu Z.-J., Shen Y.G. // Acta Materialia. 2006. V. 54. P. 2897–2905. https://doi.org/10.1016/j.actamat.2006.02.027
  39. 39. Heau C., Terrat J.P. // Surface and Coatings Technology. 1998. V. 108–109. P. 332–339. https://doi.org/10.1016/S0257-8972 (98)00621-5
  40. 40. Nandee R., Chowdhury M.A., Hossain N. et al. // Results in Engineering. 2024. V. 21. № 101738. https://doi.org/10.1016/J.RINENG.2023.101738
  41. 41. Pellegrinoa S., Trocellier P., Thomé L. et al. // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B. 2019. V. 454. P. 61–67. https://doi.org/10.1016/j.nimb.2019.02.012
  42. 42. Wdowik U.D., Twardowska A., Rajchel B. // Advances in Condensed Matter Physics. 2017. V. 1. № 4207301. https://doi.org/10.1155/2017/4207301
  43. 43. Rizzo A., Valerini D., Capodieci L. et al. // Applied Surface Science. 2018. V. 427. P. 994–1002 https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2017.08.032
  44. 44. Dreiling I., Haug A., Holzschuh H. et al. // Surface and Coatings Technology. 2009. V. 204. № 6–7. P. 1008–1012. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2009.05.029
  45. 45. Lin J., Mishra B., Moore J.J. et al. // Surface and Coatings Technology. 2008. V. 203. № 5–7. P. 588–593. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2008.06.083
  46. 46. Vlček J., Steidl P., Kohout J. et al. // Surface and Coatings Technology. 2013. V. 215. P. 186–191. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2012.08.084
  47. 47. Singh K., Krishnamurthy N., Suri A.K. // Tribology International. 2012. V. 50. P. 16–25. https://doi.org/10.1016/j.triboint.2011.12.023
  48. 48. Abad M., Sánchez-López J., Brizuela M. et al. // Thin Solid Films. 2010. V. 518. № 19. P. 5546–5552. https://doi.org/10.1016/j.tsf.2010.04.038
  49. 49. Huang S., Zhao Q., Lin C. et al. // Materials Science and Engineering A. 2021. V. 818. № 141394. https://doi.org/10.1016/j.msea.2021.141394
  50. 50. Vanegas P.H.S., Calderon V.S., Alfonso O.J.E. et al. // Applied Surface Science. 2019. V. 481. P. 1249–1259. https://doi.org/10.1016/J.APSUSC.2019.03.128
QR
Translate

Индексирование

Scopus

Scopus

Scopus

Crossref

Scopus

Higher Attestation Commission

At the Ministry of Education and Science of the Russian Federation

Scopus

Scientific Electronic Library