- PII
- S30346479S0044185625020094-1
- DOI
- 10.7868/S3034647925020094
- Publication type
- Article
- Status
- Published
- Authors
- Volume/ Edition
- Volume 61 / Issue number 2
- Pages
- 186-195
- Abstract
- Рассмотрены принципы спектральной поляризационной рефлектометрии и эллипсометрии для неразрушающего контроля тонких металл-оксидных наноструктур – рабочих материалов металл-оксидной наноэлектроники. Спектральные измерения рефлектометрических и эллипсометрических параметров позволяют восстановить профиль состава неоднородного по объему слоя металл-оксидного нанокомпозита путем решения интегрального уравнения 1 рода типа Фредгольма. Метод был протестирован при исследовании структуры и состава термооксидного слоя при электроконтактном нагреве тонкой пленки стали на основе системы Fe—18Cr в области низкотемпературного активирования, где при изменении активности окислителя структура, состав и электрические свойства неоднородного поверхностного термооксидного слоя существенно изменяются.
- Keywords
- Date of publication
- 01.02.2025
- Year of publication
- 2025
- Number of purchasers
- 0
- Views
- 39
References
- 1. Resistive Switching. From Fundamentals of Nanoionic Redox Processes to Memristive Device Applications // Eds D. Ielmini and R. Waser. Weinheim: Wiley, 2016.
- 2. Kim T.H., Jang E.Y., Lee N.J. et al. // Nano Lett. 2009. V. 9. 2229.
- 3. Yoo J.W., Hu Q., Baek Y.-J. et al. // Appl.Phys. 2012. V. 45. P. 225304.
- 4. Baek Y.-J., Q. Hu, Yoo J.W. // Nanoscale. 2013. V. 5. P. 772.
- 5. Nagashima K., Yanagida T., Oka K. et al. // Nano Lett. 2010. V. 10. P. 1359.
- 6. Котенев В.А., Высоцкий В.В. // Физикохимия поверхности и защита материалов. 2019. Т. 55. № 5. С. 522-530.
- 7. Pham K.N., Ta K.H.T., Nguyen L.T.T., Tran V.C. and Phan B.T. // Advances in Materials Physics and Chemistry. 2016. V. 6. P. 21. http://dx.doi.org/10.4236/ampc.2016.63003
- 8. Fu Y., Chen J., Zhang J. // Chem. Phys. Lett. 2001. V. 350. P. 491.
- 9. Котенев В.А., Киселев М.Р., Золотаревский В.И., Цивадзе А.Ю. // Физикохимия поверхности и защита материалов. 2014. Т. 50. № 4. С. 399.
- 10. Soler M.A.G., Qu F. // Raman Spectroscopy for Nanomaterials Characterization / Ed. Ch.S.S.R. Kumar. Berlin, Heidelberg: Springer, 2012. P. 379.
- 11. Paranaiba O., Neto V. // Journal of Computational and Theoretical Nanoscience. 2014. V. 11. P. 1.
- 12. Li D., and Du Y. Artificial intelligence with uncertainty. N. Y.: Chapman & Hall/CRC, Taylor & Francis Group, 2007.
- 13. Kotenev V.A. // Proc. SPI E. 1992. V. 1843. P. 259.
- 14. Kaiser J.H. // Appl. Phys. B. 1988. V. 45. P. 1.
- 15. Хермен Г. Восстановление изображений по проекциям: Основы реконструктивной томографии. М.: Мир, 1983. 352 с.
- 16. Тихонов А.Н., Арсенин В.Я. Методы решения некорректных задач. М.: Наука, 1986. 287 с.
- 17. Верлань А.Ф., Сизиков В.С. Интегральные уравнения. Киев: Наук. Думка, 1986. 543 с.
- 18. Azzam R.M.A., Bashara N.M. Ellipsometry and Polarized Light. Amsterdam: North-Holland, 1977.
- 19. Hunderi O. // Surface Science. 1980. V. 96. № 1. P. 1.
- 20. Lorentz H.A. // Wiedem. Ann. 1880. V. 9. P. 641.
- 21. Lorenz L. // Wiedem Ann. 1881. V. 11. P. 70.
- 22. Yan X., Wang J., Zhao M., Li X. et al. // Applied Physics Letters. 2018. V. 113. № 1. 013503. https://doi.org/10.1063/1.5027776
- 23. Gergel-Hackett N., Tedesco J.L., Richter C.A. // Proceedings of the IEEE. 2012. V. 100. № 6. P. 1971.
- 24. Котенев В.А. // Физикохимия поверхности и защита материалов. 2023. Т. 59. № 4. С. 387–396.
- 25. Котенев В.А. // Физикохимия поверхности и защита материалов. 2021. Т. 57. № 6. С. 609–617.
- 26. Котенев В.А. // Физикохимия поверхности и защита материалов. 2024. Т. 60. № 5. С. 501–506.
- 27. Котенев В.А. // Защита металлов. 2003. Т. 3 9. № 4. С. 437-447.
- 28. Tanaka T. // Jap. J. Appl. Phys. 1979. V. 1 8. P. 1043.
- 29. Idczak E., Oleszkiewicz E. // Thin Solid Films. 1981. V. 77. P. 301.
- 30. Винчелл А.Н., Винчелл Г.В. Оптические свойства искусственных минералов. М.: Мир, 1967.
- 31. Hua S.B., Jin T., Guo X. // Int. J. Extrem. Manuf. 2024. V. 6. 032008.
- 32. Окисление металлов / Под ред. Бенара Ж .М. Металлургия, 1968. Т. 2. 448 с.
- 33. Boggs W.E., Kachik R.H., Pellizier G.E. // J. Electrochem. Soc. 1965. V. 112. № 6. P. 539.
- 34. Boggs W.E., Kachik R.H., Pellizier G.E. // J. Electrochem. Soc. 1967. V. 114. № 1. P. 32.
