- Код статьи
- S30346479S0044185625030054-1
- DOI
- 10.7868/S3034647925030054
- Тип публикации
- Статья
- Статус публикации
- Опубликовано
- Авторы
- Том/ Выпуск
- Том 61 / Номер выпуска 3
- Страницы
- 263-268
- Аннотация
- Покрытия Ta-Si-C-(N) были получены методом магнетронного распыления мишени TaSi-30%SiC в среде Ar, N и газовой смеси Ar + 15%N. Изучены структура и механические характеристики покрытий; особое внимание уделено исследованию трибологических свойств покрытий в условиях жидкостного трения. Результаты показали, что покрытия обладают плотной малодефектной нанокомпозитной структурой. Основной структурной составляющей покрытия Ta-Si-C являлась фаза TaC. Введение в азот состав газовой среды способствовало формированию фазы Ta(CN). В покрытии, осажденном в N, преобладающей являлась фаза на основе нитрида кремния. Увеличение концентрации азота приводило к снижению твердости с 27 до 16 ГПа и модуля упругости с 265 до 160 ГПа. Покрытия обладали коэффициентом трения на уровне 0,12–0,13. Минимальным приведенным износом 6,1·10 мм Н м характеризовалось покрытие, полученное в среде Ar + 15%N.
- Ключевые слова
- антифрикционные покрытия Ta-Si-C-N магнетронное распыление трибологические характеристики жидкостное трение
- Дата публикации
- 01.03.2025
- Год выхода
- 2025
- Всего подписок
- 0
- Всего просмотров
- 40
Библиография
- 1. Krella A. // Wear 2013. V. 297. P. 992–997.
- 2. Zeman P., Musil J., Daniel R. // Surf. Coatings Technol. 2006. V. 200. P. 4091–4096.
- 3. Musil J., Zeman P., Baroch P. // Compr. Mater. Process. 2014. V. 4. P. 325–353.
- 4. Dai W., Shi Y. // Coatings. 2021. V. 11. № 911.
- 5. de Monteynard A., Luo H., Chehimi M. et al. // Coatings. 2020. V. 10. № 212.
- 6. Du S., Wen M., Yang L. et al. // Ceram. Int. 2018. V. 44. P. 9318–9325.
- 7. Sytchenko A.D., Kozlova N.S., Zabelina E. V. et al. // Surfaces and Interfaces. 2023. V. 37. № 102654.
- 8. Chung C.K., Chen T.S. // J. Mater. Res. 2008. V. 23. P. 494–499.
- 9. Du S., Zhang K., Wen M. et al. // Ceram. Int. 2018. V. 44. P. 613–621.
- 10. Bondarev A.V., Vorotilo S., Shchetinin I.V. et al. // Surf. Coat. Technol. 2019. V. 359. P. 342–353.
- 11. Bondarev A.V., Antonyuk M.N., Kiryukhantsev-Korneev P. V. et al. // Appl. Surf. Sci. 2021. V. 541. № 148526.
- 12. Kiryukhantsev-Korneev P. V., Sytchenko A.D., Sviridova T.A. et al. // Surf. Coatings Technol. 2022. V. 442. № 128141.
- 13. Li W., Yuan Z., Zhu Y., et al. // Ceram. Int. 2021. V. 47. P. 26233–26241.
- 14. Zeman H., Musil J., Zeman P. J. // Vac. Sci. Technol. A 2004. V. 22. P. 646–649.
- 15. Mendizabal L., Bayón R., G-Berasategui E. et al. // Thin Solid Films. 2016. V. 610. P. 1–9.
- 16. Kidalov V.V., Kukushkin S.A., Osipov A.V. et al. // Mater. Phys. Mech. 2018. V. 36. P. 39–52.
- 17. Acosta-Enriquez E.B., Acosta-Enriquez M.C., Castillo-Ortega R. et al. // J. Nanomater. Biostructures. 2016. P. 601–605.
- 18. Kaur A., Chahal P., Hogan T. // IEEE Electron Device Lett. 2016. V. 37. P. 142–145.
- 19. Zaman A., Meletis E.I. // Coatings. 2017. V. 7. № 209.
- 20. Liu X., Ma G. J., Sun G. et al. // Appl. Surf. Sci. 2011. V. 258. P. 1033–1037.
- 21. Yamamoto K., Koga Y., Fujiwara S. // Diam. Relat. Mater. 2001. V. 10. P. 1921–1926.
- 22. Yang J., De Guzman R.C., Salley S.O. et al. // J. Power Sources. 2014. V. 269. P. 520–525.
- 23. Beake B.D. // Surf. Coatings Technol. 2022. V. 442. № 128272.
- 24. Leyland A., Matthews A. // Wear. 2000. V. 246. P. 1–11.
