By this author

СТРУКТУРА И СВОЙСТВА ПОКРЫТИЙ Zr–Ti–B–C–N, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ИМПУЛЬСНОГО МАГНЕТРОННОГО НАПЫЛЕНИЯ

Issue number 4 from 17.12.2025

Покрытия Zr–Ti–B–C–N были получены методом реакционного импульсного магнетронного напыления при частотах 0, 50 и 350 кГц. Покрытия содержали высокую суммарную концентрацию неметаллических элементов в диапазоне 80–84 ат.% и обладали плотной малодефектной аморфной структурой. В покрытиях преобладали связи B–N, B–C и Zr–O. Твердость покрытий составила 8–9 ГПа, модуль упругости и упругое восстановление находилось в пределах 126–144 ГПа и 36–40% соответственно. Наименьший коэффициент трения ~0,15 имело покрытие, осажденное при частоте 350 Гц. Максимальный оптический коэффициент пропускания ~90% показало покрытие, полученное при 50 кГц, характеризующееся минимальной толщиной и повышенной концентрацией кислорода. Покрытия Zr–Ti–B–C–N оптимального состава превосходили по коэффициенту пропускания образцы сравнения Zr–B–N.

29 0