Статьи автора

ТРИБОЛОГИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПОКРЫТИЙ Та-Si-C-N, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО НАПЫЛЕНИЯ

Номер выпуска 3 от 01.03.2025

Покрытия Ta-Si-C-(N) были получены методом магнетронного распыления мишени TaSi-30%SiC в среде Ar, N и газовой смеси Ar + 15%N. Изучены структура и механические характеристики покрытий; особое внимание уделено исследованию трибологических свойств покрытий в условиях жидкостного трения. Результаты показали, что покрытия обладают плотной малодефектной нанокомпозитной структурой. Основной структурной составляющей покрытия Ta-Si-C являлась фаза TaC. Введение в азот состав газовой среды способствовало формированию фазы Ta(CN). В покрытии, осажденном в N, преобладающей являлась фаза на основе нитрида кремния. Увеличение концентрации азота приводило к снижению твердости с 27 до 16 ГПа и модуля упругости с 265 до 160 ГПа. Покрытия обладали коэффициентом трения на уровне 0,12–0,13. Минимальным приведенным износом 6,1·10 мм Н м характеризовалось покрытие, полученное в среде Ar + 15%N.

40 0