Рассмотрены принципы спектральной поляризационной рефлектометрии и эллипсометрии для неразрушающего контроля тонких металл-оксидных наноструктур – рабочих материалов металл-оксидной наноэлектроники. Спектральные измерения рефлектометрических и эллипсометрических параметров позволяют восстановить профиль состава неоднородного по объему слоя металл-оксидного нанокомпозита путем решения интегрального уравнения 1 рода типа Фредгольма. Метод был протестирован при исследовании структуры и состава термооксидного слоя при электроконтактном нагреве тонкой пленки стали на основе системы Fe—18Cr в области низкотемпературного активирования, где при изменении активности окислителя структура, состав и электрические свойства неоднородного поверхностного термооксидного слоя существенно изменяются.
Рассматриваются методические вопросы применения спектроскопии аннигиляции позитронов (АП) в контроле атомно-электронной и дефектной структуры деформированных металлических смесей. С одной стороны, данный метод, как и многие другие сложные методы определения атомно-электронного строения, структуры и характеристик дефектов, требует специалистов не только для проведения самих измерений, но и для анализа исходных экспериментальных данных. С другой стороны, для понимания результатов аннигиляционной спектроскопии и их значения с точки зрения свойств материалов не требуется какой-либо специальной подготовки, кроме нескольких базовых понятий, которые представлены в настоящей работе. В работе приведено описание метода на примере исследования атомно-электронных свойств смесей порошков алюминия и меди после интенсивной пластической деформации (ИПД) в наковальнях Бриджмена. Поскольку окисление металлов так же, как ИПД, часто связано с формированием и диффузией вакансий, предположено, что метод аннигиляции позитронов может быть чувствителен к вакансионному составу ИПД-деформированных порошков, связанному с их химической активностью.
Индексирование
Scopus
Crossref
Высшая аттестационная комиссия
При Министерстве образования и науки Российской Федерации